技術編號：8411050
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明具有垂直于基底平面沿逆相方向移動的檢測質量塊的 MEMS加速計 相關申請的交叉引用 本申請根據(jù)美國法典第35卷第119條第（e)款要求于2013年12月23日提 交的、題目為"具有垂直于基底平面沿逆相方向移動的檢測質量塊的MEMS加速計（MEMS ACCELEROMETER WITH PROOF MASSES MOVING IN ANTI-PHASE DIRECTION NORMAL TO THE PLANE OF THE SUBSTRATE)"的...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
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