技術(shù)編號：8407992
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，特別是涉及一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。背景技術(shù)金剛石是一種由碳元素組成的礦物，其具有硬度高、熱導(dǎo)率高、熱膨脹系數(shù)低、化學(xué)惰性高、透射性高等優(yōu)異的力學(xué)、熱學(xué)、化學(xué)、電學(xué)、聲學(xué)和光學(xué)性能，因此在科學(xué)研究和工業(yè)上具有極為廣闊的應(yīng)用前景。由于天然金剛石數(shù)量稀少，并且人工制備相對困難，人們便開始了在低溫低壓條件下合成金剛石薄膜的相關(guān)研究。目前已開發(fā)出多種利用化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的方法，主要包括熱絲法、火焰法、直流電弧法、微...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。