技術(shù)編號(hào)：8407967
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。從平板液晶顯示器、薄膜晶體管制造、太陽能電池透明電極以及火車飛機(jī)用玻璃除霜到建筑物幕墻玻璃，透明導(dǎo)電氧化物薄膜的應(yīng)用十分廣泛。目前研宄主要集中在ZnO，In2O3, SnO2及其摻雜體系 SnO2Sb, SnO2F, In2O3Sn(ITO)，Ζη0Α1(ΑΖ0)等，但上述這些材料都屬于η型TCO材料。雖然在ZnO等體系中可通過一定工藝制備出P型TCO材料，但其導(dǎo)電性與η型TCO相差甚遠(yuǎn)且制備工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性均需大幅度提高。因此，制備出性能優(yōu)越、工藝條...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。