技術(shù)編號：8392832
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 單晶硅是制作集成電路的初始材料，生產(chǎn)單晶硅的典型方法是Czochralski法 (即CZ工藝），又稱直拉法。首先將多晶硅原料熔化在石英坩堝中，采用流動氬氣保護。在 多晶硅完全熔化并且溫度達到平衡之后，將一個較小的硅晶種浸入硅熔體并且隨后慢慢提 起，通常在提起的同時要不斷地轉(zhuǎn)動晶體，這樣沿著晶種的結(jié)晶方向就逐漸生長成較大直 徑的單晶體。娃單晶體包括直徑為150mm、200mm、300mm等標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。 隨著電子產(chǎn)品的小型化和電路集成度的...
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