技術(shù)編號(hào)：83807
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明大體涉及沉積系統(tǒng)，具體來說，涉及一種工件內(nèi)部通道涂覆裝置。 背景技術(shù)在設(shè)計(jì)和制造用于特定工業(yè)內(nèi)的系統(tǒng)部件的過程中，主要考慮的是包括表面光潔度、硬度、制造技術(shù)的成本和環(huán)境影響。作為一例子，半導(dǎo)體制造業(yè)常使用超高純凈的氣體輸送系統(tǒng)，其中，在選擇制造系統(tǒng)部件的技術(shù)時(shí)就要考慮這些問題。這些系統(tǒng)部件包括質(zhì)量流量控制器、閥、壓力調(diào)節(jié)器、凈化器、過濾器和管道。在半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)和保持無污染的環(huán)境的關(guān)鍵在于氣體輸送系統(tǒng)中的耐腐蝕性。光潔度對(duì)于控制渦流和最大程度減小濕氣導(dǎo)致的狀況起一重要作用。正如半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。