技術(shù)編號：8380106
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及用于控制微機(jī)械執(zhí)行器的調(diào)節(jié)器、用于控制微機(jī)械執(zhí)行器的控制系 統(tǒng)、微鏡系統(tǒng)和用于控制微機(jī)械執(zhí)行器的方法。背景技術(shù) 當(dāng)今在許多應(yīng)用中均使用微機(jī)械執(zhí)行器。例如在被安裝在很小結(jié)構(gòu)空間上的投影 單元中使用微鏡。 在這樣的投影單元中通常使用微鏡，也就是所謂的MEMS (Micro-Electro-Mechani cal-System 微機(jī)電系統(tǒng)）。這樣的MEMS鏡通常具有多個可以相應(yīng)地被電激發(fā)的機(jī)械共振 點(diǎn)--也稱作模態(tài)或者傳遞函數(shù)中的極點(diǎn)。此外，這樣的M...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。