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基于硅基二極管的新型磁傳感器及制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8363304

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目前,人類已經(jīng)步入信息時代,大型工業(yè)化、集成化電路的發(fā)展對于傳感器提出了 更高的要求,而磁傳感器作為其中一個重要分支,不僅可以用來探測磁場,還可以用來探測 方向、位移、壓力、間距以及角速度、加速度等。這使得磁傳感器越來越多地應(yīng)用于交通運 輸、醫(yī)療儀器、航空航天、電子通信設(shè)備、工業(yè)測試設(shè)備以及軍事國防等諸多領(lǐng)域,受到人們 廣泛的重視。然而,現(xiàn)有磁傳感器的研究,無論在靈敏度還是在磁場的測試范圍都存在一定 的局限性,并且主要以磁性材料為主,因此現(xiàn)有的半導(dǎo)體工藝...
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