技術(shù)編號(hào)：8361467
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 隨著半導(dǎo)體工業(yè)向深亞微米技術(shù)節(jié)點(diǎn)持續(xù)推進(jìn)，集成電路器件尺寸不斷縮小，器 件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)愈加復(fù)雜。只有通過嚴(yán)格的工藝控制才能獲得功能完整的電路和高速工作的器 件。 光學(xué)關(guān)鍵尺寸OpticalCritical-Dimension(0〇))測(cè)量技術(shù)是當(dāng)前半導(dǎo)體制 造工藝中一種主流的工藝控制技術(shù)，如圖1和圖2所示，其基本工作原理可描述為（1)建 立與器件樣品的形貌相對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)；（2)通過光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量設(shè)備獲得樣品 的測(cè)量光譜；（3)從理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)中尋找...
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