技術(shù)編號：8320598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 互補型金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor) 是一種由晶圓在刻蝕后形成的產(chǎn)品，其源極、漏極、柵極等各個電極通過金屬導(dǎo)線引出后連 接，越復(fù)雜的芯片中金屬線條越密集，金屬線條間短路是芯片制程中常見的異常。當CMOS 產(chǎn)品特征尺寸小到lum W下，金屬線條形貌和尺寸就成為金屬干刻工藝的難點。制程中常 用Metal Comb該個參數(shù)來監(jiān)控金屬線條間是否短路。其測試模塊示意圖如圖1，梳狀結(jié)構(gòu) ...
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