技術(shù)編號(hào)：8275676
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMSmicro-electro-mechanical systems)的制備，涉及一種三明治結(jié)構(gòu)的柔性硅薄膜及其制備方法，是兩層楊氏模量相對(duì)于硅材料小很多的有機(jī)聚合物膜中間夾一層單晶硅膜從而形成易于大幅度機(jī)械變形的三明治結(jié)構(gòu)薄膜及其微加工制備方法，適用于柔性電子技術(shù)。背景技術(shù)MEMS是微電子技術(shù)與機(jī)械和光學(xué)等技術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物，是IC工藝技術(shù)的拓展和延伸，實(shí)現(xiàn)了多種非硅材料的集成化制造，是微電子技術(shù)應(yīng)用的新突破。MEMS技術(shù)是一種...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。