技術(shù)編號：8262252
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉前沿研究領(lǐng)域。就半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，MEMS與生產(chǎn)工藝技術(shù)的整合將為系統(tǒng)單芯片帶來極大的躍進(jìn)。未來的單芯片中可望整合音訊、光線、化學(xué)分析及壓力、溫度感測等子系統(tǒng)，發(fā)展出人體眼睛、鼻子、耳朵、皮膚等感官功能的芯片；如果再加入對電磁、電力的感應(yīng)與控制能力，那就超越人體的能力了。目前，常用的制作MEMS器件的技術(shù)主要有三種第一種是以日本為代表的利用傳統(tǒng)機(jī)械加工手段，即利用大機(jī)器制造小機(jī)器，再利用小機(jī)器制造...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。