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一種制作半導體底板的方法及系統(tǒng)的制作方法技術資料下載

技術編號:8262174

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單晶硅被用于大部分的電子器件應用。除去現(xiàn)有的如顯示器及一些成像器,非晶硅還被用于玻璃襯底以操控顯示器或成像器的像素。在許多的應用中,顯示器或成像器被制造在硅電子器件的上方。對于應用于液晶顯示器(IXDs),非晶硅提供了優(yōu)異的性能。對于下一代顯示器件如有機發(fā)光二極管(0LED),采用非晶硅制作的有源矩陣(AM,ActiveMatrix)驅(qū)動晶體管已被證明存在問題。從根本上說,LCDs使用電壓器件,而有源矩陣發(fā)光二極管(AM-OLED)需要電流器件。擴展常規(guī)方...
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