技術(shù)編號：8262140
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體器件制造的領(lǐng)域中，通過通常被稱為前端制程(front end of line，F(xiàn)EOL)技術(shù)或處理的處理來制造諸如晶體管之類的有源半導(dǎo)體器件。晶體管可以是例如場效應(yīng)晶體管(FET)并且更具體地可以是互補(bǔ)的金屬一氧化物一半導(dǎo)體FET(CMOS-FET)。FET還可以是P型摻雜劑摻雜的FET (pFET)或η型摻雜劑摻雜的FET (nFET)。近來，已經(jīng)開始廣泛地采用利用高k金屬柵(HKMG)制作的半導(dǎo)體晶體管，這是因?yàn)樗鼈兊男阅軆?yōu)于常規(guī)的或傳統(tǒng)的基于...
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