技術(shù)編號：8262050
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。等離子體反應(yīng)器或反應(yīng)腔在現(xiàn)有技術(shù)中是公知的，并廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器，發(fā)光二極管(LED)，太陽能電池等的制造工業(yè)內(nèi)。在等離子腔中通常會施加一個射頻電源以產(chǎn)生并維持等離子于反應(yīng)腔中。其中，有許多不同的方式施加射頻功率，每個不同方式的設(shè)計都將導(dǎo)致不同的特性，比如效率、等離子解離、均一性等等。其中，一種設(shè)計是電容耦合(CCP)等離子體反應(yīng)器。在電容耦合(CCP)等離子體反應(yīng)器中，反應(yīng)氣體主要通過一氣體噴淋頭進入等離子體反應(yīng)腔中，在射頻功率源的作用...
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