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一種寬光束掃描曝光方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8256597

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衍射光柵作為一種典型的衍射光學(xué)元件,被廣泛應(yīng)用于光譜分析、精密計(jì)量、集成光學(xué)、信息處理和激光脈沖壓縮等領(lǐng)域。目前,大尺寸全息光柵的制造方法主要有單次曝光、掃描曝光和曝光拼接等方法。曝光過程中的條紋鎖定是非常關(guān)鍵的。雙光束全息曝光法是最通用的制作全息光柵的方法。美國Lawrence Livermore國家實(shí)驗(yàn)室利用口徑達(dá)1.09m的曝光透鏡,單次曝光制造出面積為910X450mm2的光柵。單次曝光的優(yōu)點(diǎn)在于技術(shù)成熟、系統(tǒng)簡單,缺點(diǎn)是光柵面積和質(zhì)量均取決于曝光...
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