技術(shù)編號：8256580
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明的一個方面涉及包含取代的碳環(huán)或雜芳基的新型鎗產(chǎn)酸劑。背景技術(shù) 光刻膠是能夠?qū)D像轉(zhuǎn)移到基底上的光敏膜。它們形成負像或正像。在基底上涂 上光刻膠之后，涂層通過圖案化的光掩模曝光于激活能量源例如紫外線，在光刻膠涂層中 形成潛像。光掩模具有對活化輻射不透明和透明區(qū)域，這種區(qū)域能夠限定希望轉(zhuǎn)到下層基 底上的圖像。使光刻膠層中的潛像顯影提供立體像。 對于許多現(xiàn)有的商業(yè)應(yīng)用來說，已知的光刻膠可以提供足夠的分辨率和尺寸。然 而，對于許多其它應(yīng)用，需要能夠提供亞微...
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