技術(shù)編號(hào)：8255555
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。以往的Z軸加速度計(jì)都是平板電容式的，質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)模式是類似蹺蹺板的結(jié)構(gòu)。參考圖1，在質(zhì)量塊3下方的襯底I上，會(huì)有金屬做的兩塊固定電極2，該固定電極2貼附在襯底I的表面上。質(zhì)量塊3與兩塊固定電極2分別形成兩個(gè)電容Cl、C2。其中，質(zhì)量塊3通過(guò)錨點(diǎn)4支撐在襯底的上方。這種結(jié)構(gòu)的Z軸結(jié)構(gòu)，其對(duì)外界應(yīng)力、溫度變化所引起的形變比較敏感。外界應(yīng)力和溫度變化引起的形變首先作用在襯底I上，進(jìn)而傳到固定電極2上。由于固定電極2是附著在襯底I上面，襯底I的形變直接反映到固定電...
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