技術編號：8241940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及一種利用揮發(fā)性氣源為原料，基于電子束誘導沉積原理加工制備納 米線的方法，尤其涉及一種使用利用寬束電子束制備小尺寸納米線的方法，屬于先進半導 體材料制備的。背景技術 近年來，隨著科研的深入，納米線材料越來越多的應用到了電子器件制造，高性能 材料，日常消費品等領域。特別的，在先進半導體電子器件制造領域，納米線可以用于制造 小尺寸的半導體材料以獲得優(yōu)良的器件性能。而在使用納米線構建半導體電子器件時通常 需要納米線能夠位于確定的位置以實現(xiàn)電連接或者某種...
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