技術(shù)編號(hào)：8207115
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種單晶爐的爐體結(jié)構(gòu)，具體地說是一種用于采用冷心放肩微量提拉法 生長(zhǎng)300mm以上大尺寸藍(lán)寶石的單晶爐的爐體結(jié)構(gòu)。(二) 背景技術(shù)我國(guó)自2003年開始提出"國(guó)家半導(dǎo)體照明工程"計(jì)劃以來，目前已初步形成LED產(chǎn)品的 規(guī)?；a(chǎn)能力，但其重要的襯底材料一藍(lán)寶石晶圓，尤其是大尺寸藍(lán)寶石晶圓材料一直是 制約該產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，亟待突破。由于其具有性能穩(wěn)定、市場(chǎng)需求量大及產(chǎn)品附加值高等 特點(diǎn)，光學(xué)級(jí)大尺寸藍(lán)寶石材料同時(shí)也是微電子、航空航天、軍工等領(lǐng)域急需的材料，成為 近年國(guó)內(nèi)外研究開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化熱點(diǎn)。高品質(zhì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。