技術(shù)編號：8207001
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型公開一種制備納米氮化硅陶瓷粉體的設(shè)備，具體講是氣相合成制備納米氮化硅陶瓷粉體的等離子弧發(fā)生器。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是等離子發(fā)生器，包括正陽極體，其管腔中設(shè)置有彼此配合用于產(chǎn)生離子弧的陰極、陽極部件其特征在于所述的陽極部件內(nèi)部有供離子弧通過的管狀空腔，其一端為錐孔狀并與陰極的錐狀端部構(gòu)成間隙配合，另一端與氣相合成裝置相連；靠近陰極、陽極部件的配合位置處設(shè)有能包附在離子弧周圍并以氣旋方式輸入起弧、轉(zhuǎn)弧氣體的氣旋裝置；在上述的陽極部件的管狀空腔周圍設(shè)有冷卻水腔。由上述技術(shù)方案可知，本...
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