技術(shù)編號(hào)：8195915
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及微波等離子體源的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種小功率集成微波微等離子體源。背景技術(shù)小功率微波微等離子體技術(shù)是一項(xiàng)近幾年發(fā)展起來的集微電子技術(shù)、微波技術(shù)和等離子體技術(shù)于一體的高新技術(shù)，它是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。微等離子體包括直流微等離子體、射頻微等離子體和微波微等離子體。當(dāng)放電空間進(jìn)一步減小到納米尺寸時(shí)，就成為納等離子體。由于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)具有低損耗、高隔離、體積小、制造成本低、易與1C、MMIC電路集成等特點(diǎn)，通過MEMS工藝可以實(shí)現(xiàn)微波等離子體的小功率封裝和有源集成。因此將微波...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。