技術(shù)編號：819
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種帶有旋轉(zhuǎn)元件的橢圓偏振儀。橢圓偏振儀是一種測量固體表面和薄膜參數(shù)的精密儀器，廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、光學(xué)薄膜、電化學(xué)和生物等技術(shù)領(lǐng)域。常用的橢圓偏振儀為單制式的橢圓偏振儀，即消光式橢圓偏振儀和光度式橢圓偏振儀。消光式橢圓偏振儀主要采用PQSA結(jié)構(gòu)，測量偏振參數(shù)△、ψ值的準確度高，誤差可小于0.005°，但測量速度慢，一般為數(shù)分鐘至10多分鐘。光度式橢圓偏振儀，如比利時BE280475專利所報導(dǎo)的偏振儀，常含有旋轉(zhuǎn)元件，具有測量速度快的優(yōu)點，測量時間為1秒以下，其缺點是測量的準確度低，偏振參數(shù)△、ψ測量誤差...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。