技術(shù)編號(hào)：8179513
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散工藝領(lǐng)域，特別是涉及一種擴(kuò)散懸臂爐及其硅片承載裝置。背景技術(shù)擴(kuò)散工藝是指利用擴(kuò)散的原理，為達(dá)到某些目的，對(duì)各種材料進(jìn)行加工和處理的方法。在半導(dǎo)體工藝中常利用擴(kuò)散法對(duì)半導(dǎo)體襯底滲入微量的雜質(zhì)，以達(dá)到控制半導(dǎo)體性能的目的。傳統(tǒng)的襯底磷預(yù)擴(kuò)散是將承載硅片的石英舟放在方形的舟車上，從懸臂爐的爐管底部緩緩?fù)迫霠t管，將爐管內(nèi)溫度升至工藝設(shè)定值并保持恒溫，向爐管內(nèi)通入源氣(氧氣及攜帶有磷源的少量氮?dú)?，從而完成對(duì)硅片的磷預(yù)擴(kuò)散工藝加工。在進(jìn)行磷預(yù)擴(kuò)散時(shí)舟車與爐管內(nèi)壁直接接觸，由于源氣會(huì)反應(yīng)生成液態(tài)的生成...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。