技術編號：8171598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域一種直拉法制備單晶硅所使用的石墨坩堝技術領域[0001]本實用新型涉及一種石墨坩堝，尤其是一種直拉法制備單晶硅所使用的石墨坩堝。背景技術[0002]當前制備單晶硅主要由兩種技術，根據晶體生長方式不同，可以分為區(qū)熔單晶硅和直拉單晶硅。直拉單晶硅主要應用于微電子集成電路和太陽能電池方面，是單晶硅的主體。[0003]直拉法是運用熔體的冷凝結晶驅動原理，在固液界面處，藉由熔體溫度下降，將產生由液體轉換成固態(tài)的相變化。為了生長質量合格(硅單晶電阻率、氧含量及氧濃度分布、 碳含量、金屬雜質含量、缺陷等)的單晶硅棒，在采...
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