技術(shù)編號(hào)：8162616
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域外延層的生長(zhǎng)技術(shù)中的基座，特別是涉及ー種石墨基座。背景技術(shù)傳統(tǒng)的6寸(即15.24cm)石墨基座只能用在生長(zhǎng)6寸外延層的腔體，試用比較單一。由于在半導(dǎo)體領(lǐng)域涉及生產(chǎn)訂單更換比較平凡，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，大尺寸的外延片需求是市場(chǎng)所需，考慮到以后5寸外延片逐步淘汰，所需的5寸石墨基座也可能逐步淘汰，所以在做石墨備品備件時(shí)，由于石墨基座價(jià)格比較昂貴，為了減少5寸石墨基座的米購(gòu)量，需要用6寸的石墨基座來代替使用。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供ー種石墨基座，可以生產(chǎn)兩種尺寸的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。