技術(shù)編號:8157542
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,尤其是指一種用于高溫真空單晶燒結(jié)爐。背景技術(shù)高溫燒結(jié)爐主要用于單晶體和鍍膜材料的燒結(jié),現(xiàn)有技術(shù)無法解決在高溫作用下氟化物腐蝕鎢錸熱偶、料易揮發(fā),溫度低又造成料不溶化、浪費極大的問題;以往使用的石墨加熱器直徑大,徑向溫度梯度較大,不利于晶體以及鍍膜材料的制作,在石墨加工過程中,需把柱形原料車制成筒形,材料利用率極低,造價高;通常采用鑰片制作保溫罩,在高溫下鑰片容易變脆壽命短,造成浪費,每次溫度都有損失,重復性不好,基本一次一扔。發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供一種高溫真空單晶燒結(jié)爐,以解決石...
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