技術(shù)編號：8155757
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于等離子體發(fā)生器領(lǐng)域，具體涉及一種低真空狀態(tài)下的冷等離子體輝光放電發(fā)生器。背景技術(shù)近年來，等離子體技術(shù)的應(yīng)用涉及到各個(gè)領(lǐng)域，其物理與化學(xué)應(yīng)用已經(jīng)是一個(gè)具有全球影響的重要科學(xué)與工程，對高科技經(jīng)濟(jì)的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造能產(chǎn)生巨大的影響。目前，冷等離子體技術(shù)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料改性、廢物處理、聚合物薄膜制備、農(nóng)業(yè)增產(chǎn)等領(lǐng)域。目前國內(nèi)有關(guān)冷等離子體發(fā)生器專利基本均為常壓下的等離子體發(fā)生器，包括射頻輝光放電(CN1812686A、CN1859825A、CN101083868A、CN101835339A...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。