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用于臥式擴(kuò)散爐的擴(kuò)散均流板的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8148146

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種太陽電池制造過程中的設(shè)備部件,尤其涉及一種用于臥式擴(kuò) 散爐的擴(kuò)散均流板。背景技術(shù)太陽電池作為新興的清潔可再生能源,因具有直接將太陽能轉(zhuǎn)換為電能,且壽命 長、維護(hù)簡單、可實(shí)現(xiàn)無人值守等優(yōu)勢而備受矚目。太陽能電源系統(tǒng)取得了越來越廣泛的應(yīng)用。擴(kuò)散工藝是常規(guī)太陽電池制備過程中重要的一道工藝,目前在大批量生產(chǎn)中,普 遍采用了臥式擴(kuò)散爐,其工作原理是,在高溫下,通過導(dǎo)入液態(tài)P0C13,與硅片發(fā)生置換反 應(yīng),從而在硅片上擴(kuò)散形成一層P,形成PN結(jié)。液態(tài)P0C13通過N2管路被通入擴(kuò)散爐管內(nèi),普遍采用在爐...
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