技術編號：8142488
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及的利用靜電駐波共振機制耦合電能的磁控放電系統(tǒng)，磁控 靶的內部磁路結構由附附圖說明圖1和附圖2所示，圖中采用以中線7為對稱軸的極化坐標，必須 具備主要構件有陰極材料1、極靴2、永磁體3、鐵軛4、磁力線5、同軸線圈8和電源6組成， 通過極靴2或者圖2中的同軸線圈電流優(yōu)化磁場的分布狀態(tài)，磁場結構具有非平衡磁控靶 的特征，磁場在電極表面形成封閉的磁場結構和在磁控靶的軸向上形成磁鏡效應，磁力線5 要在兩端和電極表面相交，并且和電極的電場正交，形成適當的交叉場空間，與磁控靶相對 放置的對電極9和磁控靶之間形成...
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