技術(shù)編號：8132468
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種直拉法生長單晶硅用硅籽晶夾持器。在直拉硅單晶制造過程中，需要一種有特定晶向的硅單晶體，通常稱為籽晶。它是由一定晶向的硅單晶切割或鉆取而成。常用的晶向為<100>、<111>、<110>、<511>等。籽晶一般為圓柱體或長方體，它上面有一個或多個缺口，用銷子或金屬絲把籽晶固定在稱做硅籽晶夾持器的工件中。在直拉硅單晶制造過程中，硅籽晶夾持器是必需部件，籽晶需要很好地固定到硅籽晶夾持器...
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