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一種用于切克勞斯基法制造硅單晶再裝料或籽晶裝置中鋼繩的緊固件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8127247

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種用于切克勞斯基法制造硅單晶再裝料或籽晶裝 置中鋼繩的的緊固件 背景技術(shù)半導(dǎo)體硅單晶體大約85%用切克勞斯基(Czochralski)法制造。在這 種方法中,多晶硅被裝進(jìn)石英堝內(nèi),加熱熔化,然后,將熔硅略做降溫, 給予一定的過(guò)冷度,把一支特定晶向的硅單晶體(稱做籽晶)與熔體硅接 觸,通過(guò)調(diào)整熔體的溫度和籽晶向上提升速度,使籽晶體長(zhǎng)大至近目標(biāo)直 徑時(shí),提高提升速度,使單晶體近恒直徑生長(zhǎng)。在生長(zhǎng)過(guò)程的尾期,此時(shí) 堝內(nèi)的硅熔體尚未完全消失,通過(guò)增加晶體的提升速度和調(diào)整向堝的供熱 量將晶體直徑漸漸減...
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