技術(shù)編號(hào)：8127242
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型屬于一種提高單晶硅爐晶體生長(zhǎng)速度的裝置。 背景技術(shù)單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導(dǎo)體材料，單晶硅爐包括硅半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)合成的 爐膛、及旋轉(zhuǎn)硅晶系統(tǒng)和電控自動(dòng)系統(tǒng)。單晶硅爐的硅籽晶提升結(jié)構(gòu)采用軟軸，軟 軸為鋼絲繩，穿過(guò)箱體的傳動(dòng)軸內(nèi)的花鍵軸上設(shè)有繞絲輪，繞絲輪和軸接在箱體內(nèi) 的壓套輪相交，與兩輪相交點(diǎn)對(duì)應(yīng)箱體的壓蓋上設(shè)有帶阻尼套的進(jìn)線口，鋼絲繩一 端接在繞絲輪上，另端穿過(guò)帶阻尼套的進(jìn)線口連接位于主爐室內(nèi)的重錘，電機(jī)通 過(guò)減速箱帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。重錘則用于提升爐中石英鉗鍋內(nèi)高溫熔化的硅晶并使其 向上逐漸降溫結(jié)...
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