技術(shù)編號：8125840
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型系坩堝法生長晶體爐子裝置的改進機構(gòu)，更具體地說是直拉 硅單晶棒生長爐子中熱系統(tǒng)安裝和拆除的一種拆裝裝置。背景技術(shù)公知，單晶生長的工藝爐的結(jié)構(gòu)為自下而上依次是爐體支架、坩堝軸傳 動升降部分、爐底板、下爐筒、中爐筒和爐蓋，爐蓋上方設(shè)置可容納生長出 晶體的副室，副室上方是晶體提拉和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，籽晶軸、重錘、籽晶夾頭和 籽晶從副室上方中心可一直下降到與石英坩堝內(nèi)硅熔體接觸，通過溫度和各 種控制，使硅熔體定向在籽晶下結(jié)晶并不斷長大，達到晶體生長的目的。熱系統(tǒng)是晶體生長爐中核心部件，它主要包括三大部份，安裝在爐...
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