技術(shù)編號(hào)：8125690
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種單晶爐熱場零件，具體地說是一種單晶爐導(dǎo) 流筒。技術(shù)背景單晶爐拉制單晶硅棒時(shí)，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位 于堝托之上的石墨坩堝托內(nèi)，在保護(hù)性氣氛中加熱熔化，調(diào)控到工藝 溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入熔融多晶硅液中，與坩堝作逆向旋轉(zhuǎn)并向 上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶硅棒。 目前單晶爐導(dǎo)流筒普遍由石墨制成，在單晶硅棒拉制過程中，起著高溫氣體導(dǎo)流的作用。既要求其具有良好的耐熱性能和力學(xué)性能，又要 有一定的保溫性能，以保持導(dǎo)流筒內(nèi)單晶硅棒區(qū)與熔融的多晶硅液區(qū) 的溫差。由于...
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