技術(shù)編號：8123251
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明型涉及等離子體領(lǐng)域，特別涉及一種等離子體產(chǎn)生裝置。背景技術(shù)等離子體技術(shù)現(xiàn)在已經(jīng)應(yīng)用于如材料、電子、環(huán)保、醫(yī)學(xué)、軍事等許多領(lǐng)域，其中很多方向都要求有大范圍，高密度的等離子體。因此，如何提高這些參數(shù)也就是等離子體產(chǎn)生技術(shù)的研究所關(guān)注的了。 直流放電是最早也是最簡單的產(chǎn)生等離子體的方式。如圖1，電極2為陰極，電極3為陽極，都位于真空腔體4之中。在一定的真空條件下施加一定的直流電壓會使氣體中隨機出現(xiàn)的帶電粒子獲加速而獲得能量，被加速的帶電粒子碰撞中性的氣體分子可以使氣體分子電離生成更多的帶電粒子。新的帶電粒子...
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