技術(shù)編號(hào)：8113381
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明的主題為用于有機(jī)發(fā)光裝置的多層電極，并涉及其酸蝕刻和 包括多層電極的有機(jī)發(fā)光裝置。背景技術(shù)已知的有機(jī)發(fā)光系統(tǒng)或OLED包括有機(jī)發(fā)光材料或有機(jī)發(fā)光材料的 多層涂層，其電力由通常在側(cè)翼包圍它的兩個(gè)導(dǎo)電層形式的電極提供。這些導(dǎo)電層通常包括基于氧化銦的層，其一般為摻雜錫的氧化銦， 更多以其縮寫(xiě)ITO為人所知。ITO層已經(jīng)尤其仔細(xì)地得到了研究。它們 可以容易地通過(guò)磁控濺射法沉積，可使用氧化物靶(非反應(yīng)性濺射)或者 使用基于銦和錫的靶(存在氧類(lèi)型的氧化劑時(shí)的反應(yīng)性濺射)，其厚度為 約100 150nrn。然而，該...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。