技術(shù)編號：8112698
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型涉及直拉單晶爐設(shè)備，旨在提供一種用于單晶硅生長爐的摻雜機構(gòu)。該種用于單晶硅生長爐的摻雜機構(gòu)包括推動軸組件、真空腔體、磁鋼、磁鋼安裝套、裝料勺和操作桿，用于向單晶硅生長爐的石英坩堝內(nèi)摻雜物質(zhì)，石英坩堝設(shè)置在隔離閥座內(nèi)，隔離閥座的內(nèi)部是真空區(qū)域，隔離閥座設(shè)有一個連通口，真空腔體與隔離閥座的連通口密封連接，真空腔體的內(nèi)部是真空區(qū)域；裝料勺的末端與推動軸組件通過螺紋連接，并通過直線運動和旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)向石英坩堝內(nèi)投放物質(zhì)。本實用新型通過操作桿控制，利用磁力作用實現(xiàn)直線運動和旋轉(zhuǎn)運動，從而將事先儲存在裝料勺里...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。