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全單晶硅鑄錠爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8101639

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專利摘要本實(shí)用新型涉及一種全單晶硅鑄錠爐,包括爐體、隔熱籠、上發(fā)熱體、下發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體、上坩堝蓋板、側(cè)坩堝護(hù)板、石英坩堝、上熱交換臺、下熱交換臺、升降立柱、水冷盤;所述隔熱籠為箱體型,固定在爐體內(nèi),隔熱籠內(nèi)部固定設(shè)有上發(fā)熱體,側(cè)發(fā)熱體;隔熱籠中部設(shè)有下熱交換臺與下發(fā)熱體、升降立柱固定連接,上熱交換臺為活動式,其上放置石英坩堝,側(cè)坩堝護(hù)板4,側(cè)坩堝護(hù)板、上坩堝蓋板;隔熱籠底部外側(cè)設(shè)有水冷盤。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理,避免了已有技術(shù)中的不足之處,使整個熱場橫向熱場梯度小,熔化硅料時間短,提高了單晶率,縮短了工藝周期,提高了...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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