技術(shù)編號：8094923
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要，在爐體內(nèi)下部設(shè)有石墨底座，在石墨底座上配有裝入多晶硅料的坩堝，在爐體內(nèi)位于坩堝周邊設(shè)有與系統(tǒng)控制裝置相接的加熱體，在爐體上方有與供氣裝置相接的吹氣管，吹氣管的出氣端頭朝向坩堝內(nèi)側(cè)的底面并分布在坩堝的中心與坩堝內(nèi)側(cè)面之間。向坩堝內(nèi)裝入多晶硅料，關(guān)閉爐體的腔室，抽高真空，真空度小于0.1Pa；加溫熔化；長晶；通過供氣裝置利用吹氣管向硅液頂部先后吹熱和冷的保護(hù)氣體，使熔硅向坩堝的中心和邊緣聚集，形成凸起，然后凝固，冷卻至出爐溫度后出爐，去除高密雜質(zhì)的凸起部分。具有提高出成率和降低成本的優(yōu)點(diǎn)。專利說明 技術(shù)領(lǐng)域...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。