技術(shù)編號：8085606
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及壓電掃描步進(jìn)器和掃描探針顯微鏡，特別設(shè)及一種無摩擦慣性步進(jìn)掃描 器及其控制方法以及由此制成的同點掃描雙探針顯微鏡。 背景技術(shù)現(xiàn)有的XYZ壓電掃描管因其尺寸小且操作簡單、可靠，已在掃描探針顯微鏡領(lǐng)域獲得了 巨大的應(yīng)用，完全淘汰了早期的三腳架掃描結(jié)構(gòu)。但，它只能對最大約10-100微米量級這 樣一個微小范圍內(nèi)的樣品表面進(jìn)行掃描、測量譜數(shù)據(jù)和成像，這是因為制造XYZ壓電掃描管 的壓電材料的壓電系數(shù)很小的緣故。目前已可以利用壓電慣性步進(jìn)器原理來一步步地在掃描 管上移動樣品，獲得一個累計的、較大范圍的移...
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