技術(shù)編號：8078818
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型屬于多晶硅鑄錠領域，特別涉及多晶硅鑄錠爐熱場加熱裝置。一種多晶硅鑄錠爐熱場加熱裝置，包括石英坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞的熱電偶、側(cè)部加熱器和隔熱層，其特征在于石英坩堝的上部安裝有凹型加熱器，凹型加熱器與側(cè)部加熱器相連接。本實用新型構(gòu)思獨特，在多晶硅鑄錠過程中，由于凹型加熱器本身的凹形特點，控制頂部凹型加熱器對硅液中心進行加熱，使其溫度接近于硅液側(cè)部溫度，從而在液相中形成正溫度梯度，凸形固液界面逐漸趨于平整固液界面，鑄錠出成率高，同時能夠改善晶粒取向并可以大大提高鑄錠效率。專利說明多晶硅鑄錠爐熱場加熱...
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