技術(shù)編號(hào)：8072068
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，旨在提供帶水冷熱屏的單晶生長(zhǎng)爐。該帶水冷熱屏的單晶生長(zhǎng)爐的爐體內(nèi)設(shè)有水冷熱屏，水冷熱屏包括連接固定的呈倒錐形的水冷熱屏內(nèi)筒和水冷熱屏外筒，且在水冷熱屏內(nèi)筒和水冷熱屏外筒之間設(shè)有水道，水冷熱屏內(nèi)筒和水冷熱屏外筒的上端還連接固定有連接體，水道的進(jìn)口、出口分別通過連接體與進(jìn)水管路、出水管路相連接。本發(fā)明能夠更好地創(chuàng)造一個(gè)對(duì)結(jié)晶有利的溫度空間，從而加快晶棒的結(jié)晶速度，縮短晶棒的生長(zhǎng)時(shí)間，提高拉晶效率。專利說明帶水冷熱屏的單晶生長(zhǎng)爐技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明是關(guān)于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。