技術(shù)編號(hào)：8069266
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明涉及一種預(yù)塌陷電容式微加工換能器單元(10)，所述單元(10)包括基底(12)和覆蓋總膜區(qū)域(A總)的膜(14)，其中腔室(20)形成于所述膜(14)和所述基底(12)之間，所述膜包括孔(15)和圍繞所述孔(15)的邊緣部分(14a)。所述單元(10)還包括所述膜(14)上的應(yīng)力層(17)，所述應(yīng)力層(17)相對(duì)于膜(14)具有預(yù)定應(yīng)力值，所述應(yīng)力層(17)適于在所述膜(14)上在朝向所述基底(12)的方向上提供彎曲力矩，以使得所述膜(14)的所述邊緣部分(14a)塌陷至所述基底(12)。本發(fā)明還涉及...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。