技術(shù)編號(hào):8068206
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明公開(kāi)一種等離子體放電裝置,包括兩個(gè)射頻電極、介質(zhì)阻擋層、勻氣板、氣源、射頻電源和金屬外殼;所述射頻電源與所述射頻電極連接;放電裝置在工作時(shí),所述金屬外殼接地;所述射頻電極被介質(zhì)阻擋層包覆;兩個(gè)射頻電極之間為等離子體噴口;所述勻氣板位于所述介質(zhì)阻擋層上方;所述氣源提供的工作氣體通過(guò)由所述勻氣板構(gòu)成的收縮口,到達(dá)所述等離子體噴口,并在常壓下,電源接通后,在所述噴口處形成大面積的輝光等離子體,等離子體在氣流的攜帶下向外噴出。本發(fā)明避免了散射性放電,提高了放電效率,提高了氣流速率,增大等離子體噴出噴口的長(zhǎng)度,...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。