技術(shù)編號(hào)：8066767
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用以定位一或多個(gè)”工具(tool)”于一或多個(gè)工件上的相對(duì)目標(biāo)位置的系統(tǒng)及方法，”工具”是諸如激光光束或其他輻射光束，且本發(fā)明尤指一種可準(zhǔn)確補(bǔ)償其關(guān)連于一或多級(jí)光束定位系統(tǒng)的移動(dòng)的阿貝誤差(Abbe error)的系統(tǒng)。背景技術(shù) 多種技術(shù)利用工具以微加工或者置放圖案(pattern)或材料于工件上的目標(biāo)位置。例如，微尺寸的打孔機(jī)可用以在薄金屬板上打孔；激光可用以精密加工或選擇性蝕刻金屬、結(jié)晶、或非結(jié)晶形的樣本；且離子束可用以選擇性將帶電荷的粒子注入集成電路中。所有以上所述的制程有一共同需求，即...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。