技術(shù)編號：8062150
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及多晶硅設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種坩堝罩和坩堝系統(tǒng)。 背景技術(shù)多晶爐鑄錠過程中須經(jīng)歷抽真空、熔化、結(jié)晶、退火、冷卻五個階段。其中，熔化階段主要將零散的固體硅料融化成液態(tài)，結(jié)晶階段則通過一定的方式使多晶硅實現(xiàn)定向生長(也稱定向凝固)。在進行鑄錠工藝前就需將零散的硅料裝入噴涂好的石英坩堝中，并用石墨護板固定好，再投入多晶爐中進行鑄錠。目前，使用的石英坩堝高度為420mm，投料量約為440kg，鑄出的硅錠高度為270mmj90mm，在熔料階段硅料完全融化時的液態(tài)高度為 250mm-270mm，相對...
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