技術(shù)編號(hào)：8060784
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種高溫爐部件，具體地說是一種單晶硅拉制爐用導(dǎo)流筒，特別是涉及一種碳/碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒。背景技術(shù)單晶硅拉制爐的熱場系統(tǒng)對(duì)單晶硅的整棒率及成品率、拉速、單晶硅棒質(zhì)量都有很大的影響，因此，熱場系統(tǒng)設(shè)計(jì)和熱場內(nèi)關(guān)鍵元件的選材和使用備受關(guān)注。導(dǎo)流筒是單晶硅拉制爐熱場系統(tǒng)的關(guān)鍵元件之一，主要用于控制熱場的溫度梯度和引導(dǎo)氬氣流。目前，單晶硅拉制爐導(dǎo)流筒普遍由石墨件和炭氈組合制成，即用石墨加工出內(nèi)筒和外筒，將炭氈填充在內(nèi)筒和外筒中間，再通過緊固件將三者組合在一起。從使用的效果來看，這種導(dǎo)流筒存在以下不足一是...
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