技術(shù)編號：8060231
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種成長爐加料器，特別涉及一種應(yīng)用于晶體成長的復(fù)合式連續(xù)加料器。背景技術(shù)隨著集成電路的蓬勃發(fā)展，對半導(dǎo)體電子元件的需求與日俱增，而半導(dǎo)體的主要材料“硅”則是必須經(jīng)過高溫提煉后，才可達(dá)到半導(dǎo)體所需求的純度。而一般來說，硅的提煉可分為單晶硅以及多晶硅，單晶硅的品質(zhì)要求嚴(yán)格，制程速度慢但晶格排列一致，不會有晶界缺陷，而多晶硅因?yàn)樯a(chǎn)速度快、工藝要求較低，因而具有價(jià)格優(yōu)勢，但相對的，其晶格排列并不一致，且具有晶界缺陷。而為了配合單晶或多晶的成長，其所采用的晶體成長爐便不盡相同。如中國臺灣專利公告第M3...
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