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藍(lán)寶石晶體生長用的長晶爐結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8059098

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石晶體生長有的長晶爐結(jié)構(gòu),具體地說是單晶藍(lán)寶石 (氧化鋁單晶)的生長方法及生長用的長晶爐結(jié)構(gòu),屬于藍(lán)寶石晶體加工的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)目前,單晶藍(lán)寶石基板在現(xiàn)代科技產(chǎn)品的運(yùn)用十分重要,以光電產(chǎn)業(yè)的發(fā)光二極管(LED)為例,氮化鎵(GaN)的材料研究已超過二十年,但一直因?yàn)闆]有晶格常數(shù)配合的基板(Substrate),所以晶體長不好,并且ρ型氮化鎵不易制成,所以進(jìn)展緩慢,這些問題一直到1 983年,日本的田貞史博士(S. Yoshida)等人用氮化鋁(AlN))在藍(lán)寶石(Sapphire)...
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