技術(shù)編號(hào)：8058580
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明主要涉及用于混合和/或輸送液態(tài)化學(xué)品的系統(tǒng)和方法，特別是涉及使用邏輯裝置和多儲(chǔ)罐負(fù)載傳感器組件以精確的量混合和輸送液態(tài)化學(xué)品的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù) 本發(fā)明具有多種應(yīng)用，但是本文主要是考慮到如何將光致抗蝕劑輸送至硅晶片用于使光致抗蝕劑在光刻工藝中曝光的問題。為了形成所要求的精確的圖像，光致抗蝕劑必須以所需精確的量、無氣泡且在晶片可使用的部分上具有精確一致的厚度的方式進(jìn)行輸送。常規(guī)系統(tǒng)具有以下問題，如下所述。如圖1所示，典型的傳統(tǒng)光致抗蝕劑輸送系統(tǒng)包括供應(yīng)容器100，102，一般是瓶罐，所述瓶罐通過管線1...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。